Thông tin chi tiết ấn phẩm

Dữ liệu biên mục

      NGUYỄN ĐỨC CHIẾN
          Công nghệ chế tạo mạch vi điện tử/ Nguyễn Đức Chiến. - H.: Bách khoa Hà Nội, 2014. - 279tr.: hình vẽ, bảng, 24cm
          Trình bày kiến thức môn công nghệ chế tạo mạch vi điện tử, vật liệu bán dẫn, khuếch tán, oxy hoá nhiệt, cấy ion, xử lý nhiệt thanh, khắc và ăn mòn, các phương pháp vật lý bay hơi và phún xạ tạo màng mỏng, kết tủa hoá pha hơi, epitaxy, công nghệ CMOS, công nghệ MESFET và lưỡng cực silic

Dữ liệu xếp giá

Chi tiết
LDNTU: TKTV (TKTV): 100051220-1, 100051225-6, 100051231
Tổng số bản:  5
Số bản rỗi: 5  (kể cả các bản được giữ chỗ)
Số bản được giữ chỗ: 0
Số liệu bổ sung tổng hợp ấn phẩm định kỳ Chi tiết

Bình phẩm, bình luận

  Nhập mã xác nhận

Chia sẻ:

Mục từ truy cập

Đăng kí mượn ấn phẩm

Số thẻ:
Mật khẩu:
Số ĐKCB:
Hiệu lực tới:
Ấn phẩm liên quan đang được bạn đọc mượn